Professor: Alexandre Mello de Paula Silva (CBPF)

Ementa:

• Apresentação e introdução – ciência e tecnologia na escala nano
• Física do crescimento de filmes finos e nanoestruturas
• Introdução à estrutura dos materiais e à cristalografia
• Tecnologia de vácuo e aplicações
• Técnicas e métodos de crescimento de filmes finos
• Evaporação térmica
• Evaporação por feixe de elétrons (electron beam)
• Pulverização catódica (magnetron sputtering)
• Ablação a laser pulsado (pulsed laser ablation)
• Técnicas de caracterização de materiais nanométricos e filmes finos
• Espectroscopia de raios X
• Difração de raios X – DRX
• Fluorescência de raios X
• Espectroscopia de dispersão de energia de raios X – EDS
• Espectroscopia de elétrons
• Espectroscopia de fotoelétrons de raios X – XPS
• Espectroscopia Auger – AES
• Espectroscopia de infravermelho por transformada de Fourier – FTIR
• Espectroscopia de ultravioleta-visível – UV-VIS

Bibliografia:

1.  M. Ohring, The Materials Science of Thin Films, Academic Press, 1992